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探针接触式台阶仪
轮廓仪
品牌型号：KOSAKA LAB ET 200A-D
品牌型号：泰勒霍普森PGI Freeform
＊应用领域：
多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片。
太阳能基板、薄膜磁头及磁盘，MEM5,光电子、精加工表
面、生物医学器件、薄膜／化学涂层、平板显示、触摸屏等。
＊性能特点：
4、使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表
面形分析应用，ET200A-D 能精可靠地测量出表面台阶
形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌
技术参数。
2、使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度
表面形貌分析应用，ET200A-D 能精可靠地测量出表面台
阶形貌、粗糖度、波纹度、磨损度、薄腹应力等多种表面形
腕技术参数。
＊应用领域：
可用于半导体器件、眼科镇片、医疗器械、高亮度LED.
TSV、太阳能电池片、汽车零部件、触摸屏和工零件等各行
业
＊性能特点：
4Form Talysurf ΦPGI Freeform自由曲面测量系可以测量环
面、双推面、合成非球面、桶球面，NURBS样条曲面，非球面
柱面、点云以及Zermike定义的曲面等等。
2.Form Talysurf OPGIFreeform自由曲面测量系统基几十年
的测量经验的积淀，超精密生产经验以及有限元优化设计，提
供了低强声和近乎完美的机械运动轴。
9、测针测量范围可达到28mm,分辨率可达0.8nm,测量角度
到达50°,面型误差小于150nm.
