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全自动超景深
快速转盘共聚焦
3D显微镜
显微镜
品牌型号：德国禁司Smartzoom 5
品牌型号：德国禁司 Smartproof 5
应用领线：
适用于精密制造、医疗器械、光电器件、汽车与航空等领域。
性能特点：
4、将传统共聚焦显微镜的高分辨率与转盘系统高度采
集相结合，能快速准确的采集表面3D数据。
2、采用专业平场校正复消色差物镜，业内高分
辨率物镜：20x物镜数值孔径为0.7,50x物镜数值孔径
应用领域：
为0.95.
适用于电子电器，汽车，新能源以及机械
9、金电动载物台，行程高达150mmx150mm,适用
加工等领域。
于大尺寸零件不同区域的分析。
4、集成目稳固的设计，适用于不同的工作环境，即使
在没有防震设备的车间也可使用。
5、向导式工作流程，基于禁司专业图像软件ZEN,支
性能特点：
持从宏观到微观的无缝切换。
、全自动无级变焦，可连续变倍，用户可在任意倍数下
准确测量
2、独特的双相机设计，可轻松的观察样品全貌并能快速
定位移动样品，所有观察测量可追溯
8、专业平场复消色差物镜，放大倍率10-2000X
4、全触摸屏操作，无论是调焦、变倍、移动样品都可通
过触摸屏实现，方便快捷
5、集成式LED光源，光源集成到物镜中，可同时使用环
形光和同轴光，极大扩展各种应用
6、大载物台设计，可放置大和重的样品，行程达
130x100mm
钨灯丝扫描
高分辨场发射扫描
电子显微镜
电子显微镜
品牌型号：德国蔡司 EVO 10
品牌型号：德国款司 Sigma 300
＊应用领域：
适用于电子半导体、汽车、航空、新能源、医疗、
原材料等领域。
＊性能特点：
落地式高分辨设计，分辨率：3nm@30kV.
2、超大样品室尺寸：310mm直径，220mm高度；可放
样品尺寸：230mm直接，100mm高度。
3、五全电动载台：x-80mm;Y=100mm;Z-
35mm;T--10°-90°倾料角：R=360*连续旋转。
4、标配样品室红外CCD相机，实时观家样品移动，避免
安全隐患。
5、Optbeam模式：大视野、高晨深、分析、分辨率、
鱼眼模式，适用不同应用场景。
6、业内最高图像存储分解率：32000x24000像素。
＊应用领域：
适用于电子半导体、汽车、航空、新能源、
医疗、原材料等领城。
＊性能特点：
4,专利Gemini电子镜简设计，实现高分辨以及卓越的低电
压性能：1nm@15kV;16nm@1kV.
2、镜简内正光轴nlens探测器可实现样品极表面形貌高分
辨成像。
8、无漏磁物镜设计，即使是磁性祥品也可直接进行高分辨
观察。
4、样品台行程高达125mmx125mm,
5、可与蔡司光学显微镜进行高精度联用，提高分析效率。
6、可配置多种附件使用：EDS、EBSD、加热、拉台、
CL、Raman等。
OPTM显微
相位差膜·光学材料
分光膜厚仪
检查设备
品牌型号：大塚电子OPTM
品牌型号：大塚电子 RETS-100
应用领域：
＊应用领域：
半导体制造、光学膜、太阳能光伏、ITO玻璃、
4.液品cell
光学玻璃镀膜、光器芯片、医用材料以及新材料涂
透过、半透过型液品cell(TFT、TN、STN、IPS、
层厚度检测，反射率检测以及光学常数解析。
VA、OCB、強感应电）。
反射型液晶cell(TFT、TN、IPS、VA),
2、光学材料
其他（相位差·撕国·偏光膜、液品材料）。
＊性能特点：
、头部集成了薄膜厚度测量所需功能通过显微光谱
法测量高精度绝对反射率（多层展厚度，光学常
＊性额特点：
数）。
4、采用了偏光光学系和多通道分光检出器。
2、1点／秒高速测量。
2、有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到
3、显微分光下广范国的光学系统（紫外至近红外）
第10代的大型基板。
区域传感器的安全机制。
3、安全对策和粒子对策，可对应液品line内的检查设备。
4、易于分析同导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求，支持各种自
定义
膜厚光纤光谱仪
线扫描膜厚仪
品牌型号：大增电子 MCPD-9800
品牌型号：大塚电子 Line-scan
＊应用领域：
偏光膜、树脂膜（PET,PP、PE、PC、Nylon)、
机能能性薄膜、包装膜等厚度测量。
＊性能特点：
采用线扫描方式检测整面薄膜
2、硬件软件均为创新设计
8、作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援
4、实现高精度测量（已获取专利）
5、实现高速测量
6.不受信差影响
7、可对应宽幅样品（TD方向最大可测量10m)
＊应用领域：
半导体品圆膜（氧化膜、氮化膜、光阻
膜）光阻剥离液厚度、湿状薄膜塗布膜（Coat-
ing膜、蒸镀膜、换着剂、亚克力树额、光深片
展层、薄膜磁头）树脂膜（PET、PP、PE、
PC、Nylon)、机能能性薄膜、包装膜。
＊性能特点：
4、通讯接口可对应USB与LAN
2、高速高感度光道测量
3、加光纤具有良好的稳定性
4、提供多样化的在线定制系统
